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氩气同城采用低温空分装置,从空气中提取或从合成氨等化工生产过程中的尾气中回收提取。按我国目前的高威氩气国家标准,分为3级,纯度分别为99.999%、99.9993%、99.9996%,为了获得超大规模集成电路生产所需高纯氩气,?#35805;?#36824;应采用精纯化装置进行提纯,通常氩气纯化方法可采用催化反应法、吸附法,装置大体与氮纯化装置相似,主要是去除氩气中的杂质氧、二氧化碳、水分,若要去除烃类杂质,其纯化过程比较复杂,能源消耗大,投资大,氢氧混合气体,且不能去除氩中氮杂质,因此若产品生产要求去除氮杂质时,只要选用金属吸气剂法,不仅可以去除氮杂质,还可获得10-9级高纯氩气,其特点与前述的金属消气剂氩气纯化装置相似。



氦气介绍

工业氦?#21512;?strong>氦气纯度:≥99%,标准混合气体,氖(氢)、氧(氩)、甲烷总含量,%≤1,水分含量,点,≤-43℃。

纯氦:氦气纯度,%≥99.99599.99399.99

氖含量,ppm≤152540,氢含量,ppm≤357,

氧(氩)含量,ppm≤355

氮含量,ppm≤101725,一氧化碳,ppm≤111,二氧化碳,ppm≤111

甲烷量,ppm≤111,水分含量,ppm≤101520

高纯氦气:氦气纯度>99.999%,

杂质含量(ppm)O2≤0.5,N2≤1.0,CO≤0.5,混合气体厂家,CO2≤0.5,CH4≤0.5,H2O≤0.5,Ne≤8.0;

超纯氦气:氦气纯度>99.9999%,

杂质含量(ppm)N2≤0.5,O2≤0.5,Ne≤0.5,CO≤0.1,CO2≤0.1,THC≤0.1,H2O≤0.2;



配制10% 的CH4/Ar 四瓶, 进行为期一年的稳定性考察,  实验结果表明, 由于铝合金?#21046;?#20869;壁比较光滑, 因此在盛装?#35805;?#38271;久气体时性质稳定, 变化不大, ?#21046;?#19981;用特殊处理, 即可满足此类标准气体稳定性的要求。

在配制COS、H2S、SO2 等气体时, 必须对?#21046;?#36827;行KG 或CM 处理, 即为了防止容器内壁因吸?#20132;?#35299;吸等带来的影响。先对容器内壁进行镜面?#24515;ィ?#28034;上防氧化漆, 然后把高浓度气体充入容器内并放置10d左右, 从而提高标准气体的稳定性。用未经KG 或CM 处理的?#21046;?#37197;制10.1 mg/m3 ,COS/N2一瓶。用经KG 处理的?#21046;?#37197;制9.8 mg/m3 COS/N2 一瓶。

以上实验结果表明,混合气体, 配制易吸附标准气体时, ?#21046;?#24517;须经KG 或CM 处理, 才能保证其稳定性可靠,否则, 组分气的含量变化很大, 不宜作为标准气体?#35789;?#29992;。




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